95990011九五至尊vi

收藏网址网站地图 95990011九五至尊vi具有20多年生产与研发的高温电炉厂家
400-600-3293
当前位置:95990011九五至尊vi-> 高温管式炉-小型滑轨式PECVD系统
  • 小型等离子增强CVD系统:小型PECVD系统

95990011九五至尊vi:小型等离子增强CVD系统:小型PECVD系统

  • 电阻炉名称:小型等离子增强CVD系统:小型PECVD系统
  • 电阻炉类型:高温管式炉
  • 电阻炉厂家:西格马高温管式炉
  • 电阻炉规格:
  • 电阻炉温度:1200℃

小型滑轨式PECVD系统带预加热:等离子增强系统配有带预加热炉。

PECVD等离子增强系统由1200度三温区滑轨管式炉、单温区400℃管式炉、射频电源、真空系统、四路混气系统组成。滑轨管式炉可自由滑动。

等离子增强CVD系统为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),?该PECVD石墨烯薄膜制备设备借助13.56Mhz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子的强化学活性,改善反应条件,利用等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

PECVD等离子增强系统应用范围:

PECVD等离子增强系统可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种试验场所。可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜,并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高duan装饰等领域。?

等离子增强PECVD系统技术参数:?

设备型号

SGM-TF60-12III

炉管材质

高纯石英

炉管直径

60mm

炉管长度

2800mm

炉膛长度

600mm

加热区长

200mm+200mm+200mm

工作温度

0~1100℃

控温精度

±1℃

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头,KF16/25/40接头

可抽真空

4.4E-3Pa

供电电源

AC:220V?50/60Hz

产品型号

SGM-TF50-10

炉管材质

高纯石英

炉管直径

50mm

加热区长

300mm

恒温区长

150mm

工作温度

0~1000℃

控温精度

±1℃

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

供电电源

AC:220V?50/60Hz

RF

功率范围

0~500W可调

工作频率

13.56MHz+0.005%

工作模式

连续输出

显示模式

LCD

匹配阻抗模式

能够匹配,起辉均匀布满三温区炉管

功率稳定度

≤2W

正常工作反射功率

≤3W

放大反射功率

≤70W

谐波分量

≤-50dBc

整机效率

≥70%

功率因素

≥90%

供电电压/频率

单相交流(187V~153V)?频率50/60Hz

控制模式

内控/PLC?模拟量/RS232/485通讯

电源保护设置

DC过流保护,功放过温保护,反射功率保护

冷却方式

强制风冷

起辉长度

在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光能布满三个温区的炉体长度

四路质子流量计

质子流量计

流量范围

MFC1量程:0~200sccm??MFC2量程:0~200sccm

MFC3量程:0~500sccm??MFC4量程:0~500sccm

分别对应气体H2、?CH4、?N2、?Ar、

测量精度

±1.5%F.S

重复精度

±0.2%FS

线性精度

±1%F.S.

响应时间

≤4s

工作压力

-0.15Mpa~0.15Mpa

流量控制

液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制

进气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

出气接口

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管

连接方式

双卡套接头

工作温度

5~45℃

气体预混

配气体预混装置

供电电源?

?AC:220V?50/60Hz

机械泵

旋片泵

抽气速率

1.1L/S???

排气接口

KF16

真空测量

电阻规

极限真空

1.0E-1Pa

供电电源

AC:220V?50/60Hz

抽气接口

KF16

轨道

轨道长度

3米,能实现三温区炉子一个炉位长度的滑动,实现快速升降温

影响小型滑轨式PECVD系统价格报价因素:

小型滑轨式PECVD系统厂家品牌不一样,小型滑轨式PECVD系统价格也有所差别。另外,需要根据小型滑轨式PECVD系统详细参数才能确定, 影响小型等离子增强CVD系统:小型PECVD系统价格因素有:电炉材质、小型等离子增强CVD系统:小型PECVD系统炉膛尺寸、小型等离子增强CVD系统:小型PECVD系统额定温度、真空度、电子仪表等综合配置需求。请咨询95990011九五至尊vi厂家获取小型等离子增强CVD系统:小型PECVD系统详细技术与价格

标题: 1200小型滑轨式PECVD系统介绍网站 链接:http://wwww.zzdianlu.com//dianlu/1722.html
高温电炉系列

95990011九五至尊vi: 气氛炉

95990011九五至尊vi: 火试金

95990011九五至尊vi: 回转管式炉

95990011九五至尊vi: 坩埚炉

95990011九五至尊vi: 热震炉

95990011九五至尊vi: 高温烧结炉

95990011九五至尊vi: 石墨烧结炉

95990011九五至尊vi: 定制电炉

95990011九五至尊vi: 熔炼炉

95990011九五至尊vi: 箱式电阻炉/箱式马弗炉

95990011九五至尊vi: 义齿炉

95990011九五至尊vi: 高温管式炉

高温电炉系列

95990011九五至尊vi: 工业炉

95990011九五至尊vi: 公司介绍

95990011九五至尊vi: 新闻中心

95990011九五至尊vi: 合作案例

95990011九五至尊vi: 资质荣誉

95990011九五至尊vi: 高温电炉系列

联系我们 联系我们
联系方式
95990011九五至尊vi全国咨询热线

全国热线:400-600-3293

手机号码:18638852766

固定电话:0379-65112868

固定电话:0379-65112869

邮箱: 2817875916@qq.com

地址:洛阳高新区火炬创新创业园A6 实验电炉研发中心

QQ在线客服
400热线:
400-600-3293
咨询热线:
0379-65112868
95990011九五至尊vi(陕西)有限公司